opvarmning af mocvd-reaktor med induktion
Induktionsopvarmning Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktorer er en teknologi, der sigter mod at forbedre opvarmningseffektiviteten og reducere skadelig magnetisk kobling med gasindtaget. Konventionelle induktionsopvarmnings-MOCVD-reaktorer har ofte induktionsspolen placeret uden for kammeret, hvilket kan resultere i mindre effektiv opvarmning og potentiel magnetisk interferens med gasleveringssystemet. Seneste … Læs mere